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      磁控濺射技術原理及應用簡介
      磁控濺射技術原理及應用簡介一、磁控濺射原理磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積(PVD)的方法,具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好,成分接近靶材成分等眾多優點。傳統的濺射技術的工作原理是:在高真空的條件下,入射離子(Ar+)在電場的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。但是,電子會受到電場和磁......
      小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E(電場)&tim......
      問:1.質量流量控制器,為什么以SCCM和SLM為單位?答:從測量原理講,熱式質量流量計是通過利用氣體的比熱與密度,采用毛細管溫差量熱法進行測量,流量控制器測量的就是質量流量,但顯示出的數值是通用的標況(101325Pa;0℃)體積流量。由于一般氣體的密度都指標況下的密度,因此直接用體積乘以密度就可以得到所通過氣體的質......
      空氣是指地球大氣層中的氣體混合,因此空氣屬于混合物,它主要由氮氣、氧氣、稀有氣體(氦、氖、氬、氪、氙、氡),二氧化碳以及其他物質(如水蒸氣、雜質等)組合而成。我們的生活離不開氣體,工業生產同樣離不開氣體,工業氣體是整個工業的基礎,廣泛用于冶金、石化、化工、有色金屬、電子、新材料、光伏、能源、航空航天、廢水處理、醫療醫藥......
      微型探針臺尺寸小、重量輕,具備變溫測試及真空測試功能,適用于科研工作,也適用于與其他儀器聯用,是一款非常有特點的微探針系統。鄭科探真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。儀器特點:工作距離短......
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