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      您的位置: 首頁 > 產品中心 > 材料樣品檢測 > 真空探針臺 > KT-0904T-RL中型真空高低溫探針臺

      中型真空高低溫探針臺

      簡要描述:中型真空高低溫探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

      • 產品型號:KT-0904T-RL
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2022-07-25
      • 訪  問  量:127
      詳細介紹
      品牌鄭科探

      中型真空高低溫探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

      模塊化結構設計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎上不斷的進行升級??筛鶕y試環境和測試條件的改變而進行現場升級。增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。


      • 可處理不同尺寸的晶圓

      • 可測試芯片、晶圓

      • 可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物

      • 模塊化結構設計,具有較好的靈活性


      中型真空高低溫探針臺參數


      真空腔體

      類型

      加熱型350   或者加熱制冷型 室溫到350 室溫到-190

      腔體材質

      304不銹鋼

      腔體內尺寸

      φ90x40mm

      腔體上視窗尺寸

      Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm

      腔體抽氣口

      KF16

      腔體進氣口

      公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

      腔體出氣口

      公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

      腔體正壓

      0.05MPa

      腔體真空度

      機械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

      樣品臺

      樣品臺材質

      304不銹鋼

      樣品臺尺寸

      26X26mm

      樣品臺-視窗 距離

      30mm(可選凹視窗間距15mm

      樣品臺測溫傳感器

      A    PT100鉑電阻

      樣品臺溫度

      室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)

      樣品臺測溫誤差

      ±0.2

      樣品臺變溫速率

      高溫10/min   低溫5/min  最大值

      溫控儀

      溫度顯示

      7寸人機界面

      溫控類型

      標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

      溫度分辨率

      0.1

      溫控精度

      ±0.5

      溫度信號輸入類型

      PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

      溫控輸出

      直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

      輔助功能

      溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線

      探針

      電信號接頭

      配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

      電學性能

      絕緣電阻 4000MΩ     介質耐壓 200V    電流噪聲 10pA

      探針數量

      4探針(可定做6探針)

      探針材質

      鍍金鎢針

      探針尖

      10μm

      探針移動平臺

      X軸移動行程

      12mm    ±6mm

      X軸控制精度

      5μm

      Y軸移動行程

      12mm    ±6mm

      Y軸控制精度

      5μm

      Z軸移動行程

      12mm    ±6mm

      Z軸控制精度

      5μm

      數碼顯微鏡

      顯微鏡類別

      物鏡放大+電子放大

      顯微鏡放大倍數

      100

      顯微鏡工作間距

      50-150mm

      相機分辨率

      1080P  60  

      相機信號輸出

      HDMI輸出+USB輸出

      LED可調光源

      LED光源

      顯示屏

      5 屏幕一體機


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