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      您的位置: 首頁 > 產品中心 > 實驗室氣體配比器 > 氣體液體配比器 > KT-C4ZS質量流量計智能氣體配比器

      質量流量計智能氣體配比器

      簡要描述:質量流量計智能氣體配比器,可選配七星各種系列流量計,觸摸屏控制調節不同時間不同流量氣體,操控簡單,

      • 產品型號:KT-C4ZS
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2022-07-20
      • 訪  問  量:129
      詳細介紹
      品牌鄭科探價格區間面議
      產品種類其他介質分類氣體
      產地類別國產應用領域綜合

      質量流量計智能氣體配比器,可選配七星各種系列流量計,觸摸屏控制調節不同時間不同流量氣體,操控簡單,

      CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品,該產品在原有CS200氣體質量流上,采用了基于DF的壓力信號補小償算法,全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝,產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準,支持Ⅵ型,C型GS氣路系統。

      • 準確度采用設定點精度,產品精度可達±1.0% S.P.,響應時間最快≤ 0.5sec。
      • CS300系列產品可帶有壓力補償功能,對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償,減少壓力變化對瞬時流量影響,從而保證產品工作的穩定性和準確性。

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      質量流量計智能氣體配比器KT-C4ZS資料                                                                                    ;

      產品型號

      KT-PCS4Z

      KT-C4ZS

       氣體通道

      41

      41

      可根據需求定制

      產品類型

      高精度型/快速響應型/智能控制/觸摸屏控制

      可選量程

      20sccm-30slm(氣體量程根據客戶需要可選)

      產品精度

      高精度型±1%F.S

      普通型±1%F.S

      重復精度

      高精度型±0.2% F.S

      普通型±0.2% F.S

      線性

      高精度型±0.5% F.S.

      普通型±1% F.S.

      響應時間

      高精度型≤2sec

      普通型≤4sec

      工作溫度范圍

      (5~45)°C

      供電電源

      ~85-265VAC 50/60Hz

      最大功耗

      40W

      進氣口壓

      0.6MPa

      連接管道

      316不銹鋼管道

      截止閥類型

      電磁閥

      單向閥開啟壓力

      0.02Mpa

      壓力顯示量程

      0-0.6Mpa

      控制方式

      7寸觸摸屏智能調節

      時間設定

      0-32000分鐘

      清洗功能

      一鍵清洗

      程序控制

      5段可編程序(時間-流量隨意設定值)

      壓力顯示

      有(出氣壓力檢測且有壓力上限設置過壓切斷總輸出氣路)

      氣體混合罐

      有(內置不銹鋼擾流板氣體混合均勻)

      氣體加熱

      無(可選配氣體混合罐加熱,加熱溫度室溫至350℃可調)

      流量累計

      有(累計當前運行總流量)

      可選進出氣口接頭形式

      3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭

      抗電磁干擾

      外形尺寸

      550x380x400mm

      重量

      18KG~20KG



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