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      持久型小型濺射儀

      簡要描述:持久型小型濺射儀,石英玻璃腔體,濺射距離可調節,外接水冷機可持久濺射,觸摸屏控制,濺射時間工藝記憶儲存。

      • 產品型號:KT-Z1650PVD
      • 廠商性質:生產廠家
      • 更新時間:2022-06-20
      • 訪  問  量:135
      詳細介紹
      品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
      樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
      樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
      靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
      產地類別國產應用領域綜合

      持久型小型濺射儀

      一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點,

            磁控濺射法更是實現了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。

       

      需要鍍膜的樣品

      1、電子束敏感的樣品:

      主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料,那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結構。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用,防止此類損傷;

      2、非導電的樣品:

      由于樣品不導電,其表  面帶有電子陷阱",  這種表面上的電子積累  被稱為充電"。為了  消除荷電效應,可在樣  品表面鍍一層金屬導電  層,鍍層作為一個導電  通道,將充電電子從材  料表面轉移走,消除荷  電效應。在掃描電鏡成  像時,濺射材料增加信  噪比,從而獲得更好的成像質量。637852830951780038369.jpg

      持久型小型濺射儀廠家供應技術參數;

      控制方式

      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

      濺射電源

      直流濺射電源

      鍍膜功能

      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

      功率

      ≤1000W

      輸出電壓電流

      電壓≤1000V  電流≤1A

      真空

      機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

      濺射真空

      ≤30Pa

      擋板類型

      電控

      真空腔室

      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

      樣品臺

      可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

      樣品臺轉速

      8轉/分鐘

      樣品濺射源調節距離

      40-105mm

      真空測量

      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

      預留真空接口

      KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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