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      分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備

      發布時間:2022-08-08瀏覽:45次

        分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據真空知識原理,利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統,具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統、真空室、閥門及真空管路、泵體加熱控制、電器控制系統、水冷卻保護控制等。
       
        拆開包裝箱,將設備從箱體中取出,檢查設備有無損壞,將設備的電源線接好,將地線與設備機殼連接。如果是三相供電方式,初次通電時需要觀察機械泵的相序,打開總電源開關,觀察分子泵機組電源的相序指示燈,如果相序指示燈亮表明機械泵相序正常;如果相序指示燈不亮表明機械泵相序不正常。關掉總電源,將三相電源線中的任意兩相對調,以確保機械泵相序正確。
       
        安裝時應注意以下幾點:
       
        1、設備安裝應平地上豎直方向上與垂直方向夾角小于5度。安裝后要固定腳輪。
       
        2、真空系統各連接部位應密封可靠,保證無泄漏發生。
       
        3、水路系統接頭處應無滴漏。
       
        4、建議把從機械泵排出的氣體引出室外。
       
        分子泵機組使用注意事項:
       
        1、應經常檢查各導線及接地線是否短路,其絕緣層是否破損漏電。
       
        2、真空腔體內應保持清潔,經常清除雜物。
       
        3、裝入爐底料盤中的工件應符合要求,不能過高過大,以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現象。
       
        4、設備運行時要注意保養,定期對冷卻水系統進行維護,以防止水垢的大量凝結,影響冷卻效果。
       
        5、工作場地應保持衛生整潔,以免塵土污染真空室。

       

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